発表実績


国内学会・研究会・講演など

  1. 柴垣寛治、川島豊久、佐々木浩一、高木誠、福森勉、高田昇治、門田清、
    「レーザーマイクロプローブ法のための飛行時間型質量分析器の開発」
    平成10年度電気関係学会東海支部連合大会(三重大学、平成10年9月)
  2. 柴垣寛治、川島豊久、佐々木浩一、門田清、
    「レーザーアブレーションによる炭素クラスターイオンの質量分析」
    第46回応用物理学関係連合講演会(東京理科大学、平成11年3月)
  3. 柴垣寛治、佐々木浩一、門田清、
    「真空中でのレーザーアブレーションにより生成された炭素クラスターイオンの飛行時間型質量分析」
    「プラズマ科学」若手セミナー(名古屋大学、平成11年8月)
  4. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、尾山公一、
    「レーザーマイクロプローブ法による表面分析の検討」
    平成11年度電気関係学会東海支部連合大会(中部大学、平成11年9月)
  5. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「F,Hを含む炭素ポリマーのレーザーアブレーションで生成された炭素クラスターの分析」
    第47回応用物理学関係連合講演会(青山学院大学、平成12年3月)
  6. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、尾山公一、
    「レーザー脱離飛行時間型質量分析法によるフルオロカーボンプラズマ堆積膜の分析」
    第47回応用物理学関係連合講演会(青山学院大学、平成12年3月)
  7. 高田昇治、柴垣寛治、佐々木浩一、門田清、尾山公一、
    「フルオロカーボンプラズマで生成した堆積膜の分析」
    第47回応用物理学関係連合講演会(青山学院大学、平成12年3月)
  8. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「炭素を含む化合物のレーザーアブレーションにより生成された炭素クラスターの質量分析」
    第61回応用物理学会学術講演会(北海道工業大学、平成12年9月)
  9. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「炭素系高分子材料のレーザーアブレーションによる生成イオン種の分析」
    平成12年度電気関係学会東海支部連合大会(静岡大学浜松キャンパス、平成12年9月)
  10. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「炭素系ポリマーのレーザーアブレーションによるクラスターの生成とその分析」
    プラズマ科学シンポジウム2001/第18回プラズマプロセシング研究会(京都テルサ、平成13年1月)
  11. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「炭素系ポリマーのレーザーアブレーションによるクラスターの生成」
    平成13年電気学会全国大会(名古屋大学、平成13年3月)
  12. 高田昇治、柴垣寛治、飯田剛史、佐々木浩一、門田清、
    「C4F8およびC4F8-H2プラズマで生成された堆積膜の分析」
    平成13年電気学会全国大会(名古屋大学、平成13年3月)
  13. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「炭素系化合物のレーザーアブレーションにより生成された炭素クラスターの質量分析(U)」
    第48回応用物理学関係連合講演会(明治大学、平成13年3月)
  14. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「ポリマーのレーザーアブレーションにより真空中で生成された炭素クラスターの観測」
    第62回応用物理学会学術講演会(愛知工業大学、平成13年9月)
  15. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「真空中におけるポリマーのレーザーアブレーションによる炭素クラスターの生成機構の検討」
    平成13年度電気関係学会東海支部連合大会(豊橋技術科学大学、平成13年11月)
  16. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「真空中におけるポリマーのレーザーアブレーションにより生成された炭素クラスターの観測」
    電気学会研究会(光・量子デバイス研究会)(北海道大学、平成14年2月)
  17. 柴垣寛治、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「真空中におけるポリマーのレーザーアブレーションによる炭素クラスター生成効率のショット数依存性」
    第49回応用物理学関係連合講演会(東海大学、平成14年3月)
  18. 神谷保徳、柴垣寛治、佐々木浩一、門田清、
    「多重レーザーアブレーションプロセスにより真空中で生成された炭素クラスターの質量分析」
    平成14年度電気関係学会東海支部連合大会(大同工業大学、平成14年9月)
  19. 柴垣寛治、前田俊樹、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「レーザー脱離飛行時間型質量分析法によるフルオロカーボンプラズマ容器壁堆積膜の質量分析」
    第3回「プラズマ-表面相互作用」若手セミナー(名古屋大学、平成14年10月)
  20. 柴垣寛治、前田俊樹、高田昇治、佐々木浩一、門田清、
    「レーザー脱離飛行時間型質量分析法によるプラズマ容器内堆積膜の化学組成分析」
    第19回プラズマ・核融合学会年会(犬山国際観光センター、平成14年11月)
  21. 神谷保徳、柴垣寛治、佐々木浩一、門田清、
    「真空中でのレーザーアブレーションによる巨大炭素クラスター生成機構の考察」
    第19回プラズマ・核融合学会年会(犬山国際観光センター、平成14年11月)
  22. 柴垣寛治、神谷保徳、佐々木浩一、門田清、
    「真空中での多重レーザーアブレーションによる炭素クラスターイオン種の生成促進効果」
    レーザー学会学術講演会第23回年次大会(アクトシティ浜松コングレスセンター、平成15年1月)
  23. 神谷保徳、柴垣寛治、佐々木浩一、
    「レーザーアブレーションで生成される炭素クラスターイオン種のレーザー加熱による生成効率の変化」
    第50回応用物理学関係連合講演会(神奈川大学、平成15年3月)
  24. 柴垣寛治、Nafarizal、佐々木浩一、豊田浩孝、岩田聡、加藤剛志、綱島滋、菅井秀郎
    「二次元レーザー誘起蛍光法によるマグネトロンスパッタ鉄原子の密度分布測定」
    第64回応用物理学会学術連合講演会(福岡大学、平成15年9月)
  25. 松井洋樹、豊田浩孝、柴垣寛治、佐々木浩一、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、菅井秀郎
    「マグネトロンスパッタ製膜における基板入射粒子のエネルギー測定」
    第64回応用物理学会学術連合講演会(福岡大学、平成15年9月)
  26. 神谷保徳、柴垣寛治、佐々木浩一、
    「ダブルパルスレーザーアブレーションによる炭素クラスターイオン生成効率の向上とその緩和」
    第64回応用物理学会学術連合講演会(福岡大学、平成15年9月)
  27. 柴垣寛治、佐々木浩一、菅井秀郎、岩田聡、綱島滋、井上真澄、藤巻朗
    「先端LIF画像計測のスパッタ製膜デバイス作製用プラズマへの応用」
    平成15年度電気関係学会東海支部連合大会シンポジウム講演(名古屋大学、平成15年10月)
  28. Nafarizal、柴垣寛治、中村圭二、佐々木浩一
    「スパッタリングプラズマにおける金属原子のレーザー誘起蛍光法による密度分布計測」
    平成15年度電気関係学会東海支部連合大会(名古屋大学、平成15年10月)
  29. 松井洋樹、豊田浩孝、柴垣寛治、佐々木浩一、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、菅井秀郎
    「マグネトロンスパッタにおける製膜表面への入射粒子フラックスおよびエネルギー分布の測定」
    平成15年度電気関係学会東海支部連合大会(名古屋大学、平成15年10月)
  30. 神谷保徳、柴垣寛治、佐々木浩一
    「ダブルパルスレーザーアブレーションにおけるレーザー波長と炭素クラスター生成効率との関係」
    平成15年度電気関係学会東海支部連合大会(名古屋大学、平成15年10月)
  31. 柴垣寛治、Nafarizal Nayan、佐々木浩一、豊田浩孝、岩田聡、加藤剛志、綱島滋、菅井秀郎
    「二次元レーザー誘起蛍光法による金属スパッタリングプラズマ中原子の密度・速度分布の可視化診断」
    第21回プラズマプロセシング研究会(北海道大学、平成16年1月)
  32. 松井洋樹、豊田浩孝、柴垣寛治、佐々木浩一、岩田聡、加藤剛志、綱島滋、菅井秀郎
    「磁性薄膜作成用マグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子の質量分析」
    第21回プラズマプロセシング研究会(北海道大学、平成16年1月)
  33. Nafarizal Nayan、柴垣寛治、中村圭二、吉田達彦、佐々木浩一
    「チタンターゲットを用いたスパッタリングプラズマにおけるチタン原子とチタンイオンの密度分布計測」
    第21回プラズマプロセシング研究会(北海道大学、平成16年1月)
  34. 柴垣寛治、Nayan Nafarizal、佐々木浩一、豊田浩孝、岩田聡、加藤剛士、綱島滋、菅井秀郎
    「マグネトロンスパッタリングプラズマ中の原子速度分布の二次元LIF画像計測」
    第51回応用物理学関係連合講演会(東京工科大学、平成16年3月)
  35. Nayan Nafarizal、柴垣寛治、佐々木浩一、中村圭二、吉田達彦
    「マグネトロンスパッタリングプラズマにおける金属原子のイオン化過程」
    第51回応用物理学関係連合講演会(東京工科大学、平成16年3月)
  36. 松井洋樹、豊田浩孝、柴垣寛治、佐々木浩一、加藤剛志、岩田聡、綱島滋、菅井秀郎
    「磁性薄膜堆積用マグネトロンプラズマにおける高エネルギー粒子測定」
    第51回応用物理学関係連合講演会(東京工科大学、平成16年3月)
  37. 豊田浩孝、柴垣寛治、佐々木浩一、菅井秀郎
    「マグネトロンスパッタリングによる磁性薄膜作成プロセスの診断」
    第51回応用物理学関係連合講演会シンポジウム講演(東京工科大学、平成16年3月)
  38. 柴垣寛治、佐々木浩一
    「発光分光法による再結合プラズマの電子温度・密度測定」
    平成17年度電気関係学会東海支部連合大会(名城大学、平成17年9月)
  39. 柴垣寛治、佐々木浩一
    「発光分光法による再結合水素プラズマの電子温度・密度測定」
    第22回プラズマ・核融合学会年会(タワーホール船堀、平成17年11月)
  40. 柴垣寛治、佐々木浩一
    「高密度水素プラズマ照射炭素材料のレーザー脱離飛行時間型質量分析」
    第22回プラズマ・核融合学会年会(タワーホール船堀、平成17年11月)
  41. 玉木和也、柴垣寛治
    「レーザーを用いた炭素クラスターイオン源の開発」
    平成17年度高専卒業研究発表会(中央電気倶楽部、平成18年3月)
  42. 柴垣寛治、佐々木浩一
    「超低電子温度・高密度再結合水素プラズマの生成と光学的診断」
    第53回応用物理学関係連合講演会(武蔵工業大学、平成18年3月)
  43. 佐々木浩一、Nayan Nafarizal、高軍志、柴垣寛治、豊田浩孝、岩田聡、加藤剛志、綱島滋、菅井秀郎
    「マグネトロンスパッタリングプラズマにおけるメタル原子気相生成の実験的証拠」
    第67回応用物理学会学術講演会(立命館大学、平成18年8月)
  44. 柴垣寛治、佐々木浩一
    「超低電子温度・高密度再結合水素プラズマ中の負イオン密度測定」
    第23回プラズマ・核融合学会年会(筑波大学大学会館、平成18年11月)
  45. 柴垣寛治、平澤拓也、佐々木浩一
    「超低電子温度・高密度再結合水素プラズマ中における負イオンの検出」
    第24回プラズマプロセシング研究会(千里ライフサイエンスセンター、平成19年1月)
  46. 柴垣寛治、平澤拓也、佐々木浩一
    「低電子温度再結合水素プラズマにおける水素分子Fulcher-band分光測定」
    第54回応用物理学関係連合講演会(青山学院大学、平成19年3月)
  47. 浅川 れんげ,柴垣 寛治,佐々木 浩一
    「低電子温度・高密度再結合プラズマでの水素分子Fulcher-band分光計測」
    プラズマ・核融合学会第24回年会(イーグレひめじ、平成19年11月)
  48. 高田昇治,中野哲太郎,Soliman Wafaa,柴垣 寛治,佐々木 浩一
    「液中レーザーアブレーションによるターゲット表面上のエッチピット形成プロセスの考察」
    平成20年度電気関係学会東海支部連合大会(愛知県立大学、平成20年9月)
  49. 石田真之,井林雅樹,柴垣寛治
    「大気圧インパルス放電による金属表面微粒子の観察と評価」
    日本高専学会第15回年会(豊橋技術科学大学、平成21年8月)
  50. 森口和広,川野晃太,柴垣寛治,森田澄
    「液体中レーザーアブレーションプラズマの時分解計測」
    日本高専学会第15回年会(豊橋技術科学大学、平成21年8月)
  51. 柴垣寛治
    「高出力レーザーを用いた液体プラズマの生成と応用の紹介」
    リーディング産業展みえ2009(四日市ドーム、平成21年11月)
  52. 水谷直樹,井林雅樹,柴垣寛治
    「レーザーアブレ−ションチタンプラズマの飛行時間型質量分析法による解析」
    第27回プラズマプロセシング研究会(横浜市開港記念会館、平成22年2月)
  53. 森口和弘,川野晃太,森田澄,柴垣寛治
    「液中レーザーアブレーションによるプラズマと微粒子の解析」
    平成21年度 日本技術士会中部支部研究業績発表会(中部大学名古屋キャンパス、平成22年2月)
  54. 川野晃太,森口和弘,森田澄,柴垣寛治
    「液体窒素中レーザーアブレ−ションプラズマによる表面改質」
    平成21年度 高専卒業研究発表会(中央電気倶楽部、平成22年3月)
  55. 森厚人,石田真之,柴垣寛治
    「液中インパルス放電によるターゲット表面形状変化の観察」
    第16回 高専シンポジウム(米子コンベンションセンター、平成23年1月)
  56. 浅井晟也,白木原香織,柴垣寛治
    「PLD法による形状記憶合金薄膜の創生および材料特性評価」
    第17回日本高専学会年会 P-41 (鈴鹿工業高等専門学校,平成23年8月)
  57. 森厚人,柴垣寛治
    「PLD法による形状記憶合金薄膜の生成」
    第18回日本高専学会年会 A-23 (近畿大学工業高等専門学校,平成24年8月)
  58. 川野晃太,柴垣寛治
    「PLD法による薄膜生成プロセスにおける発光分光」
    第18回日本高専学会年会 A-24 (近畿大学工業高等専門学校,平成24年8月)
  59. 森厚人,柴垣寛治,川野晃太
    「PLD法による形状記憶合金薄膜の成膜と解析」
    平成24年度電気関係学会東海支部連合大会 I1-6 (豊橋技術科学大学,平成24年9月)
  60. 川野晃太,森厚人,柴垣寛治,Vo Quoc Huy
    「PLD法を用いた形状記憶合金の薄膜生成プロセスにおける分光計測」
    平成24年度電気関係学会東海支部連合大会 I4-3 (豊橋技術科学大学,平成24年9月)
  61. 青山剛士,上瀧雅己,柴垣寛治
    「PLD法による形状記憶合金の薄膜形成に関する研究」
    平成24年度日本技術士会中部本部修習技術者研究業績発表会 発表資料集 pp.1-4 (大同大学,平成25年2月)
  62. 上瀧雅己,青山剛士,柴垣寛治
    「PLD法によるシート基板上への合金薄膜成膜」
    平成25年度電気関係学会東海支部連合大会 Po2-15 (静岡大学,平成25年9月)
  63. 大西育佳,柴垣寛治
    「小型簡易分光器を用いた模擬雷放電プラズマの計測」
    第19回 高専シンポジウム P2-24(久留米工業高等専門学校、平成26年1月)
  64. 松村拓紀,柴垣寛治
    「PLD法による合金薄膜生成プロセスにおける膜厚分布の調査」
    平成26年度電気関係学会東海支部連合大会 Po2-20 (名城大学,平成26年9月)
  65. 福田涼,柴垣寛治
    「飛行時間型質量分析装置の特性改善の検討」
    平成26年度電子情報通信学会東海支部 卒業研究発表会 D3-4 (豊橋技術科学大学,平成27年3月)
  66. 小島和輝,柴垣寛治
    「小型分光器を用いたレーザーアブレーションプラズマの計測と学生実験への適用」
    計測自動制御学会中部支部 第157教育工学研究会  (大同大学,平成27年3月)
  67. 井頭卓也,中村晃大,柴垣寛治
    「PLD法による鉄シリサイド薄膜の作製と評価」
    第21回高専シンポジウム H-02 (丸亀市市民会館,平成28年1月)
  68. 小島和輝,柴垣寛治
    「小型分光器および振動センサを用いたレーザーアブレーションプラズマの計測」
    平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会  (豊田工業高等専門学校,平成28年9月)
  69. 小島和輝,柴垣寛治,渡瀬陸
    「振動センサを用いたレーザーアブレーションプラズマの計測」
    第22回高専シンポジウム E-01 (鳥羽商船高等専門学校,平成29年1月)
  70. 加藤久東,牛江颯斗,柴垣寛治
    「PLDプロセスにおけるレーザー光強度の最適化と膜特性」
    第22回高専シンポジウム P-240 (鳥羽商船高等専門学校,平成29年1月)
  71. 兵働徳仁,川出恭隆,柴垣寛治
    「PLD成膜プロセスにおけるレーザー光強度が与える影響の分光学的調査」
    第22回高専シンポジウム P-240 (鳥羽商船高等専門学校,平成29年1月)
  72. 渡瀬陸,小島和輝,柴垣寛治
    「固体材料へのレーザー照射時の振動・音響計測の試み」
    計測自動制御学会中部支部 第161回教育工学研究会 (大同大学,平成29年3月)
  73. 加藤久東,兵働徳仁,柴垣寛治
    「真空中および窒素雰囲気中におけるPLD法によるチタン成膜」
    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 (名古屋大学,平成29年9月)
  74. 兵働徳仁,加藤久東,柴垣寛治
    「真空中及びN2雰囲気中のPLD成膜プロセスにおける分光調査」
    平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 (名古屋大学,平成29年9月)
  75. 三島大和,家木和明,加藤久東,柴垣寛治
    「PLD法による親水性薄膜の生成と評価」
    第23回高専シンポジウム I-20 (神戸市立工業高等専門学校,平成30年1月)
  76. 家木和明,三島大和,加藤久東,柴垣寛治
    「PLD法による親水性薄膜の生成と評価」
    第23回高専シンポジウム PI-031 (神戸市立工業高等専門学校,平成30年1月)
  77. 佐藤滉一,兵働徳仁,柴垣寛治
    「小型分光器を用いたガス雰囲気中でのPLDプロセスの発光分光計測」
    第23回高専シンポジウム I-19 (神戸市立工業高等専門学校,平成30年1月)
  78. 中野裕貴,渡瀬陸,柴垣寛治
    「レーザーアブレーションによって生じる振動・音響の計測」
    第23回高専シンポジウム I-06 (神戸市立工業高等専門学校,平成30年1月)
  79. 家木和明,柴垣寛治
    「PLD法を用いて作製した各種金属薄膜における親水性の調査」
    平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 (名城大学,平成30年9月)
  80. 土屋勢那,柴垣寛治
    「レーザーアブレーションによる音波の計測」
    平成30年度第3ブロック専攻科研究フォーラム (名古屋国際センター,平成31年3月)【優秀ポスター賞】
  81. 山口和也,柴垣寛治
    「複数の金属ターゲットを用いたPLD法による形状記憶合金薄膜作製」
    令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 (大同大学,令和元年9月)
  82. 尾崎脩平,柴垣寛治
    「複数のターゲット材料を用いたPLD成膜プロセスにおけるプラズマの計測」
    令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会 (大同大学,令和元年9月)
  83. Y. Fukuyama, and K. Shibagaki
    Two dimensional measurement of laser ablation plasma by small high-speed camera,
    令和2年度第3ブロック専攻科研究フォーラム (オンライン,令和3年3月)
  84. 樋尾一真,柴垣寛治
    「ナノ粒子生成のための小型液中プラズマ放電装置の製作」
    第28回日本高専学会年会講演会 (オンライン,令和4年8月)
  85. 杉浦諒,柴垣寛治
    「液中レーザーアブレーションによるカーボンナノ粒子の生成と分析」
    第28回日本高専学会年会講演会 (オンライン,令和4年8月) 【優秀ポスター賞】
  86. 京極祥多,柴垣寛治
    「小型電源を用いた大気圧プラズマジェットの開発とその分析」
    第28回日本高専学会年会講演会 (オンライン,令和4年8月)
  87. 杉浦諒,柴垣寛治
    「ポリマーの液中レーザーアブレーションによる特異な微粒子の生成と分析」
    第29回高専シンポジウム (長岡工業高等専門学校,令和5年1月)
  88. 舘颯人,河村貫汰,柴垣寛治
    「大気圧プラズマジェット照射によるテープ粘着性変化の調査」
    第29回高専シンポジウム (長岡工業高等専門学校,令和5年1月)
  89. 森川修翔,柴垣寛治
    「亜鉛をターゲットとしたPLDプロセスによる薄膜の分布」
    第29回高専シンポジウム (長岡工業高等専門学校,令和5年1月)

国際会議・ワークショップ

  1. K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Laser-probed mass spectral analysis of fluorocarbon deposits formed by CF4/H2, C4F8, and C4F8/H2 plasmas,
    International Workshop on Basic Aspects of Non-equilibrium Plasmas Interacting with Surfaces (January, 2000, Nagasaki, Japan)
  2. K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Production of Carbon Clusters by Laser Ablation of Graphite and Polymers in Vacuum,
    The Seventh European Conference on Atomic and Molecular Physics (April, 2001, Berlin, Germany)
  3. K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Formation of Carbon Clusters by Laser Ablation of Polymers in Vacuum,
    25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (July, 2001, Nagoya, Japan)
  4. K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Observation of Large-Size Carbon Cluster Ions by Laser Ablation of Polymers in vacuum,
    COLA'01 The 6th International Conference on Laser Ablation (October, 2001, Tsukuba, Japan)
  5. K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Laser Desorption Time-of-Flight Mass Spectrometry of Deposits Synthesized by Fluorocarbon Plasmas,
    Frontiers of Surface Engineering 2001 Conference and Exhibition (October, 2001, Nagoya, Japan)
  6. K. Shibagaki, T. Maeda, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Laser desorption time-of-flight mass spectrometry of fluorocarbon films synthesized by C4F8/H2 plasmas,
    16th ESCAMPIG and 5th ICRP Joint Conference (July, 2002, Grenoble, France)
  7. K. Shibagaki, T. Maeda, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Laser-desorption time-of-flight mass spectrometry for analyzing fluorocarbon films synthesized by C4F8/H2 plasmas,
    The Third Asian Pacific Laser Symposium (September, 2002, Osaka, Japan)
  8. K. Shibagaki
    The power of visualized plasma diagnostics: Laser-induced fluorescence imaging spectroscopy in magnetron sputtering plasmas,
    COE Workshop on Application of Advanced Laser Techniques to Plasma Diagnostics (September, 2003, Nagoya, Japan)
  9. Y. Kamiya, K. Shibagaki, and K. Sasaki
    Enhancement of the synthesis efficiency of carbon cluster ions by the irradiation of two laser pulses to polymers in vacuum,
    The 7th International Conference on Laser Ablation (October, 2003, Hersonissos, Crete, Greece)
  10. K. Shibagaki, N. Nafarizal, K. Sasaki, H. Toyoda, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, and H. Sugai
    Distribution of Fe atom density in a dc magnetron sputtering plasma source measured by laser-induced fluorescence imaging spectroscopy,
    56th Gaseous Electronics Conference (October, 2003, San Francisco, USA)
  11. H. Matsui, H. Toyoda, K. Shibagaki, K. Sasaki, T. Kato, S. Iwata, S. Tsunashima, and H. Sugai
    Energy distribution measurement of atoms and ions sputtered by a magnetron plasma,
    56th Gaseous Electronics Conference (October, 2003, San Francisco, USA)
  12. K. Sasaki, K. Shibagaki, and Y. Kamiya
    Production of Carbon Clusters by Laser Ablation in Vacuum,
    International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision (February, 2004, Takayama, Japan)
  13. K. Shibagaki, N. Nafarizal, K. Sasaki, H. Toyoda, T. Kato, S. Iwata, S. Tsunashima, and H. Sugai
    Visualization of Density and Velocity Distributions of Atoms in DC Magnetron Sputtering Plasmas by Laser-Induced Fluorescence Imaging Spectroscopy,
    International COE Forum on Plamsa Science and Technology (April, 2004, Nagoya, Japan)
  14. H. Toyoda, H. Matsui, K. Shibagaki, K. Sasaki, T. Kato, S. Iwata, S. Tsunashima, and H. Sugai
    Mass Spectrometric Measurement of Energetic Ions and Neutrals in Magnetron Plasma for Magnetic Film Deposition,
    International COE Forum on Plamsa Science and Technology (April, 2004, Nagoya, Japan)
  15. N. Nafarizal, K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, K. Nakamura, and T. Yoshida
    Density Distributions of Titanium Atoms and Titanium Ions Measured by Laser-Induced Fluorescence in Magnetron Plasmas,
    International COE Forum on Plamsa Science and Technology (April, 2004, Nagoya, Japan)
  16. N. Nafarizal, K. Shibagaki, N. Takada, K. Nakamura, M. Kobayashi, and K. Sasaki
    VISUALIZATION OF METAL SPUTTERING PLASMAS BY LASER-INDUCED FLUORESCENCE IMAGING SPECTROSCOPY,
    The 7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 17th Symposium on Plasma Science for Materials (June, 2004, Fukuoka, Japan)
  17. K. Shibagaki, N. Nafarizal, K. Sasaki, H. Toyoda, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, and H. Sugai
    Visualization of spatial velocity distribution of atoms in magnetron sputtering plasmas by laser-induced fluorescence imaging spectroscopy,
    The 7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 17th Symposium on Plasma Science for Materials (June, 2004, Fukuoka, Japan)
  18. J. Gao, N. Nafarizal, K. Shibagaki, K. Sasaki, H. Toyoda, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, and H. Sugai
    Visualized measurements of densities and velocities of Fe and Cu atoms in magnetron sputtering plasmas,
    The 57th Gaseous Electronics Conference (September, 2004, Bunratty, Ireland)
  19. N. Nafarizal, K. Shibagaki, N. Takada, K. Nakamura, M. Kobayashi, and K. Sasaki
    Ionization Processes of Metal Atoms in High-Pressure dc Magnetron Sputtering Plasmas,
    American Vacuum Society 51st International Symposium and Exhibition, (November, 2004, Anaheim, CA)
  20. K. Sasaki, K. Shibagaki, N. Nafarizal, H. Toyoda, T. Kato, S. Iwata, S. Tsunashima, and H. Sugai
    2D-Imaging Measurements of Sputtered Atom Velocities in dc Magnetron Discharge by Doppler-Shifted LIF,
    American Vacuum Society 51st International Symposium and Exhibition, (November, 2004, Anaheim, CA)
  21. J. Gao, N. Nafarizal, K. Shibagaki, K. Sasaki, H. Toyoda, S. Iwata, T. Kato, S. Tsunashima, and H. Sugai
    Two dimensional measurement of the uniformity of sputtered Cu atom density in magnetron sputtering plasmas,
    International Symposium on Sputtering and Plasma Processing, (June, 2005, Kanazawa, Japan)
  22. K. Shibagaki, and K. Sasaki
    Measurement of Electron Density and Temperature in Recombining Hydrogen Plasmas by Optical Emission Spectroscopy,
    6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing(ICRP-6/SPP-23), (January, 2006, Matsushima, Japan)
  23. K. Sasaki, N. Nafarizal, J.-S. Gao, and K. Shibagaki
    Are sputtering products from metal targets really monoatomic?,
    The 9th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, (June, 2007, Kanazawa, Japan)
  24. K. Shibagaki, T. Hirasawa, and K. Sasaki
    Measurement of negative hydrogen ion densities in high-density recombining hydrogen plasmas,
    18th International Symposium on Plasma Chemistry, (August, 2007, Kyoto, Japan)
  25. K. Shibagaki, and K. Sasaki
    Mass spectroscopic analysis of carbon cluster ions synthesized by laser ablation in vacuum,
    Workshop on Basic Aspects of Nanocluster Formation by Laser Ablation Processes, (March, 2008, Nagoya, Japan)
  26. K. Sasaki, R. Asakawa, K. Shibagaki, and D. Hayashi
    Optical emission spectrum from molecular hydrogen in a high-density recombining hydrogen plasma,
    19th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, (July, 2008, Granada, Spain)
  27. K. Shibagaki, R. Asakawa, and K. Sasaki
    Diagnostics of high-density, low-temperature recombining hydrogen plasmas produced by helicon-wave discharge,
    International Congress on Plasma Physics 2008, (September, 2008, Fukuoka, Japan)
  28. K. Shibagaki, M. Ishida, and M. Ibayashi
    Surface Modification of Titanium by Impulse Discharge Plasma Irradiation,
    2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, (March, 2010, Nagoya, Japan)
  29. K. Shibagaki, M. Ibayashi, A. Mori, T. Hattori, and M. Ishida
    Surface Modification of Metals by HV Impulse Discharge in Air and Liquid,
    63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, (October, 2010, Paris, France)
  30. K. Shibagaki, K. Kawano, and A. Mori
    Synthesis and characterization of Ti-Ni shape memory alloy thin films by pulsed laser deposition,
    The 11th Conference on Laser Ablation, (November, 2011, Mexico)
  31. K. Shibagaki, and T. Igashira
    Fundamental properties of ablated particles in PLD process of FeSi2 thin films,
    International Conference on Engineering and Technology, (October, 2016, Toyama, Japan)
  32. S. Tsuchiya, and K. Shibagaki
    Temporal evolution of sound waves produced by pulsed laser ablation on metals at atmospheric pressure,
    The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases and the 10th International Conference on Reactive Plasmas, (July, 2019, Hokkaido, Japan)

学術論文

  1. K. Shibagaki, T. Kawashima, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Formation of Positive and Negative Carbon Cluster Ions in the Initial Phase of Laser Ablation in Vacuum,
    Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 39 (2000) pp.4959-4963
  2. K. Shibagaki, K. Sasaki, N. Takada, and K. Kadota,
    Synthesis of Heavy Carbon Clusters by Laser Ablation in Vacuum,
    Jpn. J. Appl. Phys. (Express Letter) Vol. 40 (2001) pp.L851-L853
  3. N. Takada, K. Shibagaki, K. Sasaki, K. Kadota, and K.-I. Oyama
    Analysis of the molecular structure of fluorocarbon deposits produced by C4F8 and C4F8-H2 plasmas,
    J. Vac. Sci. Technol. A Vol. 19 (2001) pp.689-692
  4. K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Production of Carbon Clusters by Laser Ablation of Polymers in Vacuum,
    J. Appl. Phys. Vol. 91 (2002) pp.2449-2454
  5. K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Synthesis efficiency of heavy carbon clusters from ETFE ablated by different numbers of laser pulse in vacuum,
    Appl. Surf. Sci. Vol. 197-198 (2002) pp.598-602
  6. K. Shibagaki, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Synthetic characteristics of large carbon cluster ions by laser ablation of polymers in vacuum,
    J. Appl. Phys. Vol. 93 (2003) pp.655-661
  7. K. Shibagaki, T. Maeda, N. Takada, K. Sasaki, and K. Kadota,
    Laser desorption time-of-flight mass spectrometry of fluorocarbon films synthesized by C4F8/H2 plasmas,
    J. Vac. Sci. Technol. A Vol. 21 (2003) pp.866-873
  8. N. Takada, K. Sasaki, T. Iida, K. Shibagaki, and K. Kadota,
    Estimation of carbon fluxes interchanging between chamber wall and gas phase in fluorocarbon plasmas,
    Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 42 (2003) pp.4510-4512
  9. N. Takada, T. Iida, K. Shibagaki, and K. Sasaki,
    Chemical bonds of fluorocarbon films which can be a source of CFx radicals,
    J. Vac. Sci. Technol. A Vol. 22 (2004) pp.413-418
  10. K. Shibagaki, Y. Kamiya, and K. Sasaki,
    Enhancement of the synthesis efficiency of carbon cluster ions by the irradiation of two laser pulses to polymers in vacuum,
    Applied Physics A. Vol. 79 (2004) pp.1161-1163
  11. K. Shibagaki, N. Nafarizal, and K. Sasaki,
    Spatial distribution of the velocity distribution function of Fe atoms in a magnetron sputtering plasma source,
    J. Appl. Phys. Vol. 98 (2005) pp.043310 1-6
  12. N. Nafarizal, N. Takada, K. Shibagaki, K. Nakamura, T. Sago, and K. Sasaki,
    Two-Dimensional Distributions of Ti and Ti+ Densities in High-Pressure Magnetron Sputtering Discharges,
    Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 44, No. 23 (2005) pp.L737-L739
  13. K. Shibagaki, and K. Sasaki,
    Negative ion densities in high-density, low-temperature recombining hydrogen plasmas,
    J. Phys. D: Appl. Phys., Vol. 41 (2008) 195204 (7pp)
  14. K. Shibagaki, R. Asakawa, D. Hayashi, and K. Sasaki,
    Dramatic Enhancement of OH(A2Σ+) Density in a Recombining Hydrogen Plasma,
    Plasma and Fusion Research, Vol. 3 (2008) 055
  15. 石田真之,井林雅樹,柴垣寛治,
    インパルス放電プラズマ照射による金属表面改質,
    日本高専学会誌, Vol. 15, No. 3 (2010) pp.59-64
  16. K. Shibagaki, K. Kawano, and A. Mori,
    Synthesis and characterization of Ti-Ni shape memory alloy thin films by pulsed laser deposition,
    Applied Physics A., Vol. 110, Issue 4 (2013) pp.805-808
  17. 柴垣寛治,青山剛士,
    飛行時間型質量分析装置におけるイオン軌道の解析,
    鈴鹿工業高等専門学校紀要, 第46巻(創立50周年記念号), (2013) pp.57-63
  18. 柴垣寛治,川野晃太,
    マルチチャンネル分光器を用いたPLD成膜プロセス診断の検討,
    日本高専学会誌, Vol. 18, No. 3 (2013) pp.35-40
  19. 小島和輝,柴垣寛治,
    小型分光器を用いたレーザーアブレーションプラズマの計測と学生実験への適用,
    計測自動制御学会教育工学論文集, Vol. 38 (2015) pp.1-3
  20. 渡瀬陸,小島和輝,柴垣寛治,
    固体材料へのレーザー照射時の振動・音響計測の試み,
    計測自動制御学会教育工学論文集, Vol. 40 (2017) pp.47-49
  21. 柴垣寛治,
    レーザーを用いたプラズマの音響計測と工学教育への展開,
    計測自動制御学会教育工学論文集, Vol. 46 (2023) pp.34-36

教育

  1. 北村登、鈴木昌一、柴垣寛治、花井孝明
    「専門教育への動機付けを目指した電気電子工学実験のテーマおよび実施法」
    工学教育 第54巻 第2号(2006)pp.104-109
  2. 北村登、川口雅司、鈴木昭二、奥田一雄、西村一寛、奥野正明、柴垣寛治、花井孝明
    「鈴鹿高専電気電子工学科1年の「工学序論」での新しい試み」
    計測自動制御学会中部支部 教育工学論文集 Vol. 29(2006)pp.27-29
  3. 長瀬治男、白井達也、柴垣寛治、箕浦弘人、吉川英機、中山浩伸、和田憲幸、兼松秀行 他
    「実践工業数学」
    現代GP 単位互換を伴う実践型講義配信事業 テキスト
  4. 柴垣寛治
    「e-learningを用いた予習復習徹底への取り組み」
    東海工学教育協会 高専部会報告No.1 45時間学習単位制を見据えた授業事例実践集 (2007) pp.23-24
  5. 柴垣寛治、出口芳孝
    「鈴鹿テニス協会におけるwebを活用した大会申込システムの開発」
    鈴鹿工業高等専門学校 紀要第40巻 (2007) pp.47-52
  6. 柴垣寛治、兼松秀行
    「高専の専門教科におけるワンポイント学習としてのe-learning」
    平成19年度工学・工業教育研究講演会講演論文集 (2007) pp.432-433
  7. 七原俊也, 北裕幸, 與那嶺尚弘, 大坪靖幸, 柴垣寛治, 羽渕仁恵, 河合康典, 羽馬洋之, 日高良和, 三崎幸典, 氷室昭三
    “目標は「地元に身近な学校」”,
    電気学会誌, Vol. 127, No. 7 (2007) pp.431-434
  8. 柴垣寛治 他
    「理科離れ・電気離れにどう対処:−カギの一つは小学校の理科環境−」
    電気学会誌, Vol. 128, No. 6 (2008) pp.377-381
  9. 柴垣寛治,森田澄
    「液中レーザーアブレーションプラズマの動的挙動の観察と評価」
    創造性を育む「卒業研究」集 平成20年度版 (2009) p.114
  10. 柴垣寛治,兼松秀行
    「短時間オンラインコンテンツによる教育方法改善の取り組み」
    第70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集,No. 1 (2009) p.416
  11. 柴垣寛治,西村一寛,兼松秀行
    「オンラインコンテンツが学習の動機付けに与える効果」
    平成21年度電気関係学会東海支部連合大会 O-326 (2009)
  12. 西村一寛,柴垣寛治,川口雅司
    「ものづくり教育のための磁石教材 反発磁石を利用した振動のリミットスイッチの製作」
    鈴鹿工業高等専門学校 紀要第42巻 (2009) pp.43-47
  13. 柴垣寛治,石田真之,井林雅樹,山田太,鈴木昌一,奥野正明,近藤一之
    「インパルス電圧発生装置を用いた学生実験および特別研究の改善」
    鈴鹿工業高等専門学校 紀要第43巻 (2010) pp.55-61
  14. 柴垣寛治,下古谷博司,西岡將美
    「鈴鹿高専における自転車立哨指導」
    平成23年度全国高専教育フォーラム 教育研究活動発表概要集 (2011) pp.155-156
  15. 北村登,柴垣寛治,山田伊智子,澤辺昭廣,鈴木昌一,山田太,西森睦和,板谷年也
    「電気電子工学科1年「ものづくり実習」」
    第17回日本高専学会年会 B1-5 (2011)
  16. 近藤一之,北村登,花井孝明,奥田一雄,大津孝佳,川口雅司,辻琢人,西村一寛,奥野正明,柴垣寛治,山田伊智子,鈴木昌一,山田太
    「鈴鹿高専電気電子工学科におけるより実践的・創造的な技術者の要請を目指したカリキュラム改定」
    第17回日本高専学会年会 B2-3 (2011)
  17. 下古谷博司,川口雅司,西岡將美,白井達也,柴垣寛治
    「商店が隣接する鈴鹿高専における四輪無許可通学指導の一例」
    第17回日本高専学会年会 B4-1 (2011)
  18. 柴垣寛治,下古谷博司,西岡將美
    「鈴鹿高専における自転車安全運転指導の一例」
    第17回日本高専学会年会 B4-2 (2011)
  19. 柴垣寛治
    「海外に目を向ける学生を育てるには」
    東海工学教育協会高専部会 国際化教育の現状と課題シンポジウム概要集 (2013) pp.25-26

その他

  1. 柴垣寛治
    「プラズマと診断技術」
    静電気学会誌 28(2) (2004) p.152
  2. 柴垣寛治
    「大気圧非熱プラズマを活用した環境保全技術の新展開 7.おわりに」
    プラズマ・核融合学会誌 89(3) (2013) p.169
  3. 柴垣寛治
    「プラズマが拓く未来とは〜次世代のモノづくりを支えるツール〜」
    みえアカデミックセミナー2016

学位論文

  1. 柴垣寛治
    「レーザーアブレーションによる真空中での炭素クラスターイオン生成過程の時分解計測」
    修士論文 (平成12年3月) 名古屋大学
  2. 柴垣寛治
    「表面分析のためのレーザー脱離飛行時間型質量分析法の開発」
    博士論文 (平成15年3月) 名古屋大学

受賞

  1. 電気学会優秀論文発表賞 (平成14年4月)
  2. 全国高専教育フォーラム 教育研究活動発表会 優秀ポスター賞 (平成23年8月)
  3. 鈴鹿工業高等専門学校 教育研究奨励賞 (平成26年2月)

柴垣寛治 / 研究のページ


更新日:2024年2月9日